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在地质上应避开断层、流砂，选择地质构造稳定（解释:稳固安定；没有变动)、土层密实、地下水位变化较小的地区。合理利用地形、地貌，例如利用河流、地面高差等自然条件，减少环境振动对厂区及洁净车间的影响。洁净车间选址应采用先进的测量仪器（appliance），它应具有良好的频响、高灵敏度(Sensitivity)及信噪比，在工程建设中必须坚持采用实地测试（TestMeasure)、分析(Analyse)比较的方法选择理想的厂址，切忌未经测试分析而由行政部门主观规定。